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創新平台/打造 MIT氮化鎵平台 改善元件效率

本文共862字

經濟日報 李珣瑛

隨著通訊科技持續發展,如何讓巨量資料傳得更快更遠,成為高頻通訊發展的重要課題。然而,巨量資料想要遠距傳輸會面臨「頻率愈高、訊號愈易衰減」的障礙,各國早已投入布局,傳統以矽或砷化鎵進行高頻通訊已達極限,而具有超高頻、高功率特性的氮化鎵成為台灣急起直追的契機。

為了協助台灣建構遠距通訊韌性、打造自有關鍵技術,工研院在經濟部產業技術司支持下,成功開發出「超高頻 GaN-on-Si 技術與系統驗證平台」。

團隊將高頻通訊從最底層的磊晶成長、元件設計製程,一路到功率放大器設計與天線封裝(AiP)完全打通。不僅氮化鎵元件頻率問鼎世界最高水準,功率放大器效率更超越國際領先大廠,除大幅強化台灣通訊技術自主性,更帶動次世代通訊與化合物半導體產業升級轉型。

工研院電光系統所組長許世玄表示,投入第一年,團隊就遭遇高溫導致晶圓彎曲龜裂,散熱不易等問題,產出的元件頻率遠低於市場水準。加上內部晶圓產線白天滿載,為了卡位產能,團隊只能犧牲睡眠,半夜上產線、加班試做,團隊形容研發真的是「史上最難!」

面對嚴峻考驗,工研院組成橫跨電光、資通、材化三大領域共40人團隊,發揮跨領域協作優勢,從元件、訊號傳輸到散熱封裝逐一解題。面對高溫時「晶圓每五片破二片」,電光團隊開發出獨創氣流調控與緩衝層設計,破片率大幅降低且均勻度極佳。針對傳輸時的訊號抖動,資通團隊設計出「對稱式功率耦合架構」,使功率放大器能穩定地將微弱訊號大幅放大,實現長距離高品質通訊。

面對多晶片整合後散熱不易的問題,材化團隊首創「散熱厚銅導線架」直接帶走核心熱能,並研發獨家的抑制材料,可以直接「吸收」雜訊,搭配低損耗的封裝膠水材料,在超高頻的環境下,傳送的訊號損耗低、品質優於國際大廠。

歷時六年,研發出的氮化鎵元件最高頻率達325GHz世界最高水準,功率放大器效率比國際領先大廠提升逾70%。同時還建構台灣首個氮化鎵整合元件製造(IDM)平台,布局20件核心專利,已串聯67家業者、成功催生兩家新創。未來盼持續研發實現衛星與手機、穿戴裝置相連,引領台廠搶攻全球6G與低軌衛星的互聯新商機。

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