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創新平台/面板級封裝 技術再進化

本文共885字

經濟日報 李珣瑛

隨著AI、大數據與車用電子快速發展,晶片設計趨向高效能與多功能整合,帶動封裝技術升級。具高效率與成本優勢的面板級封裝(PLP)逐漸受到重視,但要在大面積玻璃基板上製作高深寬比的微細銅柱,仍是技術難題,傳統真空鍍膜(PVD)製程成本高、良率低,更難兼顧深寬比與大面積需求。

為此,工研院歷時多年開發出「面板級封裝高深寬比全濕式完整解決方案」,從鑽孔、表面改質、填孔與檢測等關鍵製程,全面採用濕式製程,大幅提升製程穩定性與生產效率。

工研院機械與機電系統研究所組長黃萌祺表示,核心突破在於奈米級金屬氧化物藥液的開發。初期研發時,藥液中的奈米粒子易沉澱、聚集,導致附著力差、壽命短。團隊歷時七、八年研發,歷經無數次實驗與失敗,最終研發出穩定儲存一年以上、附著力為傳統鍍膜五倍的高性能藥液。

另一挑戰是在厚達300微米的玻璃基板上,鑽出僅15至24微米寬、深寬比達20的微孔,如同在硬玻璃上挖出比頭髮還細且極深的孔洞,難度極高。工研院首創導入高速雷射鑽孔技術,並建立完整製程平台,從孔洞成型、金屬種子層沉積、銅填充到後續檢測一次到位,有效提升良率與一致性。

黃萌祺表示,工研院的濕式填鍍技術已突破深寬比20以上門檻,設備成本僅為傳統製程三分之一,並具備量產彈性,為業界提供高效能、低成本的升級路徑。這項成果背後,除技術團隊的堅持外,也受惠於經濟部法人科技專案、前瞻計畫與A+計畫的支持,加上產業界共研參與,讓這項曾不被看好的技術走上產業主流。

儘管台灣在晶圓代工與封裝測試具全球優勢,封裝材料與設備的國產化比率仍偏低。工研院從材料、藥液、設備到檢測平台全數自主開發,並與國內設備商如:聯策(6658)、誠霸、旭宇騰等合作,攜手建構完整的國產面板級封裝解決方案,提升供應鏈韌性。

事實上,面板級封裝構想早在七、八年前即提出,因當時IC尺寸小、應用未成熟而一度沉潛。如今AI晶片體積快速擴大,先進封裝需求升溫,加上Intel等國際大廠積極投入,工研院長期布局終迎突破。目前技術已將深寬比從5提升至20、製程面積拓展至300乘300毫米,未來將推進標準化與量產應用,搶攻高效能運算與車用電子市場。

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