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兩岸靚人物/華卓精科首席科學家朱煜 寫半導體傳奇

本文共1280字

經濟日報 陳政錄

華卓精科首席科學家朱煜專攻大陸半導體領域。(網路照片)
華卓精科首席科學家朱煜專攻大陸半導體領域。(網路照片)
號稱大陸「光刻機第一股」的華卓精科,日前通過科創板IPO申請後,公司實際控制人、北京清華大學教授朱煜的「知識造富」之路走得精彩。

光刻機又稱曝光機,是半導體的重要設備,美國封鎖大陸半導體技術的做法,就是禁止廠商出口光刻機到大陸。

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知識造富 擁尖端技術

朱煜不只是華卓精科董事兼首席科學家,還掌控著另一家同樣專攻大陸半導體「卡脖子」領域重點項目的企業,科研背景與中共高層的「大煉芯」計畫幾乎重疊,而這個宏偉布局,得從20年前說起。

朱煜1965年出生,在中國礦業大學攻讀博士期間,就成為北京清華大學的訪問學者,2001年畢業後進入清大製造工程研究所博士後研究,後來就一直留在清華大學,擔任精儀系、機械系等系所的教授職務和參與研究。

回想起2001年,剛開始從事光刻機研發工作時,朱煜說,「我第一次看到的(光刻機)雙工件台,是ASML的一段展示片」,被海外先進技術深深震撼後,「我下意識地對自己說,這就是我想要做的,中國必須掌握這樣的尖端技術。」

往後的20年內,朱煜埋首超精密機械與測控方向研究,帶領過百人團隊,陸續成功研製出大陸首個光刻機雙工件台系統樣機、投入量產研發,擔任大陸多個積體電路國家研究項目組組長,申請大陸境內專利超過140項、美國專利23項等。雖然鮮少公開露面,但媒體都稱他是「人生贏家」,被寄予厚望。

帶隊研發 進軍科創板

2012年,朱煜入選大陸國家首批「萬人計劃」同年,華卓精科作為清大科研成果轉化項目正式成立;隔年,另一同為清大轉化項目的企業華海清科成立,朱煜是聯合創始人,專攻同樣是大陸半導體「卡脖子」領域的重點項目──化學機械拋光(CMP)設備。

不過,留給朱煜和北京清華,推動大陸半導體產業鏈自主化的時間並不多,2017年時任美國總統川普上任後,隔年美中貿易戰、科技戰接連打響,中共中央因而啟動「大煉芯」計劃,豪砸人民幣10兆元以上資金,扶植本土企業發展,華卓精科、華海清科不得不加快腳步,一邊申請補助,一邊於2020年,相繼提出科創板IPO申報並獲受理。

在此期間,朱煜領軍的華卓精科於2018到2020年,分別收到大陸政府補助人民幣1.3億元、3.2億元和2.6億元,比公司財報顯示的營業額還要多。

公開資訊顯示,華卓精科目前是大陸首家,也是世界唯二可以自主研發並實現商業化生產的光刻機雙工件台供應商,華海清科則是大陸唯一12英吋CMP設備製造商,客戶包括中芯國際,甚至是國際大廠英特爾。

雖目前大陸半導體產業在高端製程上,仍落後歐美一截,但隨華卓精科通過科創板IPO申請,擬募資人民幣7.35億元,華海清科擬於IPO募資人民幣10億元來看,朱煜這位清華博士在「知識造富」的同時,能不能達成「打破國際巨頭壟斷,填補大陸國內產業空白」的終極目標,全世界都在看。

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