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暉盛電漿設備 引領智動化主流

2018-10-26 18:39經濟日報 張傑

暉盛科技總經理許嘉元博士。 暉盛科技/提供
暉盛科技總經理許嘉元博士。 暉盛科技/提供
電漿設備大廠-暉盛科技,以優越電漿製程及設備開發能力,相繼搶進美系半導體、行動裝置以及通訊大廠供應鏈,同時在與日立先端(Hitachi Hightech)所建立的代理合作及市場開發技術平台後,近年來,更連續獲得數家日系軟性印刷電路板及IC載板大廠訂單,營收看俏。

暉盛科技總經理許嘉元表示,專為下一世代印刷電路板薄型化、細線路、雷鑽孔洞高縱橫比及高產出的需求,分別開發出軟性印刷電路板業界所需的卷對卷電漿去膠渣機(Reel-to-Reel plasma desmear),其最大可處理板厚範圍(13~200um)、最快產速(5m/min)、最快蝕刻速率(PI或LCP:1.0um/mim 在5m/min的產速下)及處理溫度最低(<80度)等特性。

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此外還有具高縱橫比(40:1)、低製程溫度(<60度)、高蝕刻速率(PI可達1.0um/min)、高蝕刻均勻性(>95%)及最大產能(1.5 pieces/min)的批次式/連續式電漿去膠渣機(Batch / in-line plasma desmear)。以及應用在細線路非等向性蝕刻上的RIE(Reactive ion etching)電漿去膠渣機,提升電鍍填孔良率(>95%)以及增加膜層附著力的連續式大氣電漿處理設備(AP Plasma/JET, direct and remote type)等四大主軸設備。

許嘉元指出,目前暉盛所推出的電漿設備,具多款自動化設計,包括 Robot入出料、產品自動上治具、自動投料達到無人生產。輔以在控制及資料收集方面,可與MES/CIM連線進行Full-Control,擁有多種通訊協定,可接續各產業CIM系統,符合全自動化產線需求,將成為下一波電漿製程設備主流。暉盛科技電話(06)291-5500,TPCA攤位號碼Booth J923。

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