• 會員中心
  • 訂閱管理
  • 常見問題
  • 登出

台積電、台灣半導體靠他神助攻 一文認識浸潤式微影之父

清大半導體學院院長林本堅。記者葉信菉/攝影
清大半導體學院院長林本堅。記者葉信菉/攝影

本文共1073字

經濟日報 記者李珣瑛/新竹報導

清大半導體學院院長林本堅技術底子雄厚,當年他以「水」作為介質,發展浸潤式(Immersion)微影技術,用一滴水改變了全球半導體高階製程發展,不僅奠定台積電與台灣半導體領先地位,也為早年規模仍相對小的艾司摩爾(ASML)開啟新契機。

林本堅並串起艾司摩爾與台積電的合作,艾司摩爾掌握關鍵技術後,成為台積電發展先進製程的一大助力。如今,他從台積電回到校園,協助台灣培育半導體人才,要為台灣半導體產業界奠定更深厚的基石。

※ 歡迎用「轉貼」或「分享」的方式轉傳文章連結;未經授權,請勿複製轉貼文章內容

本週免費看VIP文章,剩
或者
選擇下列方案繼續閱讀:

加入數位訂閱 暢讀所有內容


彭博等8大外媒、深度內容、產業資料庫、早安經濟日報、台股明星賽、無廣告環境

加入udn會員 閱讀部分付費內容

免費加入

會員可享有收藏新聞、追蹤關鍵字.使用看盤系統等服務

登入udn會員 免費試閱

延伸閱讀

上一篇
行動支付建置 可借鏡南韓
下一篇
記憶體雙雄:市況否極泰來

相關

熱門

看更多

看更多

留言

完成

成功收藏,前往會員中心查看!