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隱形冠軍/工研院:臺禹科機實戰經驗 轉動品牌

本文共610字

經濟日報 記者李珣瑛/新竹報導

工研院材化所先進精微技術組副組長李壽南表示,環境永續已成為全球焦點,台灣作為全球高科技生產重鎮,製程中廢氣處理成為各大廠商專注的議題。臺禹科機創辦人暨董事長吳宗學,工程師背景出身,具有專業半導體製程與尾氣特性研究實戰經驗,22年來與工研院長期合作、技轉專利,促使臺禹科機從設備代理商,逐步轉型成品牌製造商,並跨足半導體、光電等產業,已成為半導體廢氣處理設備產業的隱形冠軍。

李壽南指出,半導體生產線製程的許多道流程,例如:蝕刻、化學氣相沉積、磊晶等晶圓生產製程,都會產生許多廢氣需排放,包括:一氧化二氮(N2O)、三氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6),這些氣體若逕排到大氣中不僅導致溫室氣體,也會產生有易燃性、腐蝕性的尾氣,如何妥善處理製程中的尾氣,成為現今高科技產業重要課題。

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