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看好半導體設備產業前景，國內工具機大廠包括東台（4526）、百德、瀧澤科、時碩、和大，以及上銀、直得、全球傳動、健椿等傳動系統元件廠，紛紛布局半導體設備產業，不但為營運開發新藍海，也大幅提升工具機產業在高科技領域的版圖占有率。
業界指出，國內工具機及關鍵零組件廠商面對日本與中國大陸雙面夾殺，加上地緣政治衝突，必須思考加速轉型，其中，半導體設備、AI、機器人都是時勢所趨，也是台廠工具機鏈具有優勢的發展方向。
尤其，AI浪潮帶動半導體進入大投資時代，國內工具機鏈廠商近幾年陸續發表創新半導體設備技術，鎖定晶圓製造、先進封裝等領域，並結盟艾司摩爾（ASML）、美國應用材料（AMAT）、科林（LAM）、科磊（KLA）等國際半導體設備大廠，躋身供應鏈。
東台近幾年積極拓展半導體產業布局，集團陸續與艾司摩爾及日本Dry Chemical合作，最新「晶圓平坦化解決方案」，強調全新單軸晶圓減薄機，主攻第三代半導體碳化矽晶圓及其他硬脆材質的加工。
瀧澤科併入日本Nidec集團之後，持續擴大半導體產業布局，繼專為半導體設計的高階車銑複合機之後，最新開發的石英研磨複合機，也切入台廠半導體供應鏈。
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