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芯動能研發電子級氣體純化器設備 SEMICON Taiwan 2024正式亮相

本文共600字

經濟日報 楊連基

芯動能設備股份有限公司(Tronic Purity, Inc.)是一家專注於電子級氣體純化科技領域的新創公司,也是台灣首家自行設計、生產電子級氣體純化器的設備商。該公司自成立以來,一直致力於推動先進氣體純化與分析技術的研發與應用,旨在為全球客戶提供高效且新穎的解決方案。於9月4~6日在南港展覽館一館(I區2228),參加台灣國際半導體展(SEMICON Taiwan 2024),展出電子級氣體純化器設備等產品。

芯動能設備公司展出的電子級氣體純化器。 芯動能設備公司/提供
芯動能設備公司展出的電子級氣體純化器。 芯動能設備公司/提供

執行長黃柏瑋表示,該公司利用複合應用中的空纖維分子篩、吸氣劑(Getter)、觸媒等吸附材料,成功打造了台灣國產第一台電子級氣體純化器。該設備能夠將氮、氧、氬、氫、氦等五項大宗氣體,純化至9N級以上,並應用於EUV機台的超高潔淨CDA及CO2純化,甚至達到PPT等級。在特殊氣體純化方面,芯動能公司也展示了卓越的技術能力,開發了如大流量HCl純化器等設備。

日本宮城県議會議員菊地 惠一(右四)、日本宮城県經濟商工觀光部長梶村 和秀(右三...
日本宮城県議會議員菊地 惠一(右四)、日本宮城県經濟商工觀光部長梶村 和秀(右三)、日本Ball Wave Inc代表取締役社長赤尾 慎吾博士(左三)等,共同參訪芯動能設備公司,與執行長黃柏瑋(右二)交談後合影。 楊連基/攝影

芯動能公司的另一項核心業務是環境氣體分析儀及電子級氣體分析系統的研發。這些系統30%來自國外儀器商的技術指導,70%則由該公司自主開發及開發分析方法。全新面貌的分析系統預計將於SEMICON Taiwan 2024正式亮相,屆時,將為業界帶來一場技術革命。

該公司始終秉持「創新驅動發展」的經營理念,通過不斷創新的產品與服務,持續滿足並超越客戶的期待。未來,芯動能公司將繼續堅守創新精神,力求在電子級氣體純化科技領域成為全球領導者。

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