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甫結束的2023年台北國際自動化工業大展，偉勝乾燥工業展出的新品中，主打智能監控、節能減碳的智能無塵無氧烤箱，廣受業界關注與詢問，也受到許多欲投入高階或自動化製程的產業先進蒞臨參觀。而該產品可應用於半導體製程的光阻軟烘烤、顯影硬烘烤、清洗後烘乾或環化乾燥製程，因此，偉勝乾燥將於9月6~8日在南港展覽館二館1F（P區展位5512），參加國際半導體展（SEIMICON Taiwan 2023）的展出。
這款智能無塵無氧工業烤箱，搭配EFEM或機械手臂，除原有SECS/GEM通訊協議外，藉由搭載IPC、觸控螢幕及獨立應用程式，讓人機界面完整整合，可將機台相關數據上傳至伺服器並搭配智慧監控鏡頭，提供客端連接智慧工廠，整合物聯網與無人工廠的需求，達成無人工廠自動化目的。同時，爐門採自動門設計、兩箱可獨立控制，一箱可烘烤50片晶圓，並以使用者角度來設計思考，搭配鍵盤抽屜、文件/紙張收納隔層，方便使用者操作。
而在節能減碳與綠色製程中，該產品具有專利多層風門結構，提高氣密封性達99%以上，同時強化機台保溫設計，提升20%~25%的節能效果，並搭配備新的水冷系統，每分鐘冷卻效能平均可達4.5℃/分，增加UPH產出，全機使用達60%可回收材料，並結合廢熱回收模組及Solvent回收，可回收25%有機物溶劑，不僅有效減少有機物附著腔體，大幅減少後續的維護時間，確保產品良率，更進一步達到節省用電，降低環境汙染，達成環保效益。
偉勝乾燥工業，專注於自動化乾燥設備的研發、設計、製造與整合，近年更專注於國、內外知名科技大廠自動化乾燥製程，並提供客製化的服務，以因應產業各階段不同烘烤、固化製程需求，並配合客戶製程空間應用需求，進行專業的規劃設計，來滿足客戶需求。因此，若欲更進一步了解偉勝的產品與服務，可至國際半導體展的展會現場洽詢。
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