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亞東工業氣體碳捕捉設備落成 推升電子級氣體量能、有利半導體先進製程

本文共414字

經濟日報 鄭芝珊

亞東工業氣體今(24)日於桃園觀音廠落成碳捕捉設備,透過二氧化碳回收製程,可提升現有之電子級氫氣產量約 20%,並回收超過90%製程中產生的二氧化碳,回收的二氧化碳經過純化,將供應給半導體客戶的先進製程使用。本套設備可透過製程效率的提升,為半導體客戶的先進製程提供高品質的產品,並透過製程效率的優化,落實亞東的減碳承諾。

亞東工業氣體二氧化碳回收設備啟用典禮。 (左起) 液空集團大中華區副總裁 Rui...
亞東工業氣體二氧化碳回收設備啟用典禮。 (左起) 液空集團大中華區副總裁 Rui COELHO、桃園市長張善政、亞東工業氣體董事長徐旭平、亞東工業氣體總裁Olivier LETESSIER、法國在台協會主任Franck Paris、投資台灣事務所執行長張銘斌。亞東工業氣體/提供

亞東觀音廠生產純度 99.9995% 以上的電子級氫氣供應半導體與面板產業。而透過此套碳捕捉設備的落成,亞東不僅可大幅度提升氫氣產量,更回收超過九成的二氧化碳,再透過純化製程,生產高純度二氧化碳,供應半導體先進製程使用。

亞東工業氣體二氧化碳回收設備。亞東工業氣體/提供
亞東工業氣體二氧化碳回收設備。亞東工業氣體/提供

亞東工業氣體總裁 Olivier LETESSIER 表示:「作為全球工業氣體的領導者與半導體產業最堅實的夥伴,亞東持續導入創新科技優化製程,提高生產效率,達到資源更有效的應用。透過此套碳捕捉設備的啟用,我們得以提升產量,為客戶提供更穩定、更充沛的高純度氫氣與二氧化碳產品並減少碳足跡。」

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