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馗鼎奈米電漿廢氣處理設備 有效減少半導體製程碳排及VOCs處理

本文共664字

經濟日報 張傑

因應全球ESG浪潮,馗鼎奈米以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下,開發電漿廢氣處理設備(plasma scrubber),可有效破壞與分解鍍膜與蝕刻製程中,所產生的有害廢氣,尤其是含氟溫室氣體,並搭配濕式洗滌製程,將處理過的廢氣或廢水排出,對於減少半導體製程溫室氣體排放,以及VOCs排放處理,有明顯效益。

馗鼎奈米以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下,開發電漿廢氣處理設備(plasma ...
馗鼎奈米以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下,開發電漿廢氣處理設備(plasma scrubber),可有效破壞與分解鍍膜與蝕刻製程中,所產生的有害廢氣。 馗鼎奈米/提供

有鑒於半導體產業方興未艾,半導體CVD製程、蝕刻製程、擴散製程中,所產生大量的含氟氣體排放,其碳當量約(CO2e)5000-6000倍CO2,有迫切處理的需要,馗鼎奈米所開發電漿廢氣處理設備(plasma scrubber),透過電漿製程,破壞與分解製程中,所產生有害廢氣,並搭配濕式洗滌,可將廢水排出。

馗鼎奈米表示,由於電漿廢氣處理設備(plasma scrubber)中的電極設計及電源供應器,皆是馗鼎奈米自行研發技術,不僅效率高且低功耗,亦可外接自動加藥機(進行廢水預處理) ,由於設備體積小,易串接整合於 In line 產線,並可處理全氟碳化合物等設備排放尾氣,且能與前端製程設備連線、配合進一步減少能源使用。

馗鼎奈米指出,所開發出的電漿廢氣處理設備(plasma scrubber)針對科技產業(面板業、半導體、PCB產業)、傳統製程 (石化業、紡織業、化工製程),廢氣處理、以及針對揮發性有機物(Volatile Organic Compounds,簡稱 VOCs)等相關產業,在減少溫室氣體排放上,不僅有明顯效益,對於企業追求低碳排、碳中和等領域,更是具有莫大助益。

馗鼎奈米科技電話(06)232-3927。

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