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半導體設備大廠應用材料昨（10）日在新加坡淡濱尼（Tampines）舉行製造與創新園區開幕典禮，宣布園區正式投產。該園區耗資5億美元（約新台幣158億元），將擴大應材在新加坡的製造量能，並導入機器人、擴增實境（AR）、數位工具與視覺檢測平台，打造半導體設備智慧製造基地。
從現場無塵室導覽來看，淡濱尼園區的智慧製造流程涵蓋物料配送、設備組裝、測試與出貨前檢查四大環節。首先，在物料配送方面，園區導入自主移動機器人，可將零件或棧板從物流區送至工作站，並採取拉動式配送系統，也就是現場有需求才配送，藉此減少人工搬運與物料等待，也讓無塵室空間更多用於設備組裝，而非物料堆放。
在設備組裝環節，技術員可透過擴增實境眼鏡取得即時作業指引，畫面會直接提示氣體管線安裝位置、螺絲鎖固位置等步驟，減少技術員在電腦工作指令與實際設備間來回切換。現場也導入數位扭力工具，確保螺絲鎖固至正確扭力，並將相關數據自動記錄至系統，讓品質控管從製造過程中即時建立，而非只在最後檢查。
在測試流程方面，應材導入協作型機器人手臂進行腔體洩漏檢測。機器人可沿著腔體接縫釋放氣體，再由洩漏檢測器偵測是否有洩漏。相較過去由技術員手動檢測，機器人可讓氣體釋放速度、檢測路徑與作業流程更加一致，降低人為差異，提升測試穩定度與可重複性。
最後在出貨前視覺檢查階段，應材導入Vision X平台，搭配擴增導引檢查，協助技術員檢查水管連接是否正確、設備標籤位置與語言是否符合規範。系統可透過影像判讀，以綠色標示正確、紅色提示異常。
整體來看，淡濱尼園區不只是應材擴大新加坡製造布局的重要一步，也展示半導體設備製造正從傳統人工作業，走向機器人、AR、數位工具與視覺AI協作的新模式。實體AI不再只是未來概念，而是正在半導體製造現場落地。
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