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台積電為何找上台肥合作廢酸回收?從晶圓清洗到循環再利用 電子級硫酸戰局浮現

在晶圓製程中,濕式(液體)化學品是耗費量排名第一的化學用品。 聯合報系資料照
在晶圓製程中,濕式(液體)化學品是耗費量排名第一的化學用品。 聯合報系資料照

本文共1101字

經濟日報 記者任君翔/台北報導
在晶圓製程中,濕式(液體)化學品是耗費量排名第一的化學用品。其中,硫酸需求量名列前茅,主要用於晶圓清洗。台積電(2330)更因製程廢硫酸處理需求找上台肥(1722)。從製程需求,到後端循環回收,硫酸對半導體產業的重要性有多高?又有哪些台灣供應商已成功卡位?
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