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台積電攜工研院將 EUV 製程餘氫再利用 開發混氫燃料電池

本文共505字

經濟日報 記者尹慧中/台北即時報導

台積電(2330)今日更新ESG電子報,提到公司將EUV餘氫再利用,轉型綠色能源與工研院合作研發「混氫燃料電池」,發電效率達52.3%。

台積電在ESG電子報提到,攜手工研院綠能系統與環境科技所推動「極紫外光(Extreme Ultraviolet, EUV)製程餘氫資源化計畫」,創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統,在50%濃度氫氣、每分鐘320公升的流量條件下,成功將餘氫轉換為電能,發電效率達到52.3%,並領先全球取得半導體製造設備安全衛生及環保基準(SEMI S2)認證。

台積電在ESG電子報提到,今年進一步以150瓩進行混氫燃料電池開發設計,目標將EUV製程的餘氫100%轉化為電力,促進更環保的生產管理。

此外台積電在ESG電子報提到,為強化南京廠自主檢測能力,台積電在南京廠成立海外廠區第1個廠務環境實驗室,並於2025年3月完成中國合格評定國家認可委員會年度驗證,已具備27種排放指標檢測技術,優於當地環保法規要求的24種。

台積電在ESG2電子報表示,南京廠並建立129支排氣風管的參數資料庫,完成5支超出內控排量的煙道改善,空汙排放量相較於實驗室建置前降低61%,水汙綜合指標削減率提升19%。

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