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蔚華以漢微科為師拚自製!推 SiC 基板、矽光子檢測

蔚華與南方科技合作舉行新品發表會,圖左起為蔚華總經理楊燿州、蔚華董事長秦家騏、股東邰中和、股東技嘉董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理王嘉業。王郁倫攝影
蔚華與南方科技合作舉行新品發表會,圖左起為蔚華總經理楊燿州、蔚華董事長秦家騏、股東邰中和、股東技嘉董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理王嘉業。王郁倫攝影

本文共1424字

經濟日報 記者王郁倫/台北即時報導

蔚華半導體代理業務遇逆風,正積極轉向自研檢測設備業務,除CIS檢測,董事長秦家騏28日攜手南方科技發表SiC(碳化矽)基板JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,創新程度吸引三大SiC基板台廠派員與會,矽光子檢測設備也正朝量產準備中,內部預估2024年在「自製為主,代理為輔」下,全年將挑戰獲利。

「我有個夢想,像漢民集團的漢微科,也是代理起家,後來投入前段設備,後來被ASML買走,是成功的案例,這就是因為他們有自己(研製)的東西。」蔚華董事長秦家騏以漢民集團為師,正大力從代理轉向自製之路,能否成為漢微科第二,業界正高度矚目。

攜手推出創新檢驗方法

蔚華科技(3055)28日攜手持股51%的數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,採用先進非線性光學技術,可以對SiC基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,用「全檢」取代現行破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻「抽檢」方式,有助於協助改善SiC功率元件生產良率,並替基板廠節省10%物理耗損。

而南方科技能有如此創新檢驗方法,主要是因為該團隊過去做生物細胞檢測設備,蔚華因有半導體通路經驗,拿來運用於半導體檢測,竟意外使光學技術價值大幅提昇,機台設備身價超過4000萬~5000萬元。

對這個新檢測技術相當重視,合晶、環球晶、盛新半導體三大SiC基板台灣業者都派員出席觀禮,秦家騏開心透露很快就有訂單,「期望全球大賣!現在全世界最大的前三家(SiC基板業者)都有來溝通,我認為很有機會!」

目前相對矽晶圓產業製程已有穩定高良率,第三類半導體則仍有良率瓶頸,SiC產能開出不多,秦家騏表示,「如果成為產業檢測標準的話,肯定市場的量很大,且現在電動市場在各地滲透率才8~15%,加上充電樁,需要的晶片有多少!」他開心預估,2024年JadeSiC-NK檢測系統交期4~6個月,2024年5~6月開始交貨,一年可以賣數十台。

目前SiC大廠有Wolfspeed、美國Coherent、南韓SK Siltron、日本羅姆Rohm等,業界多以蝕刻檢測方式,將一個晶錠切成20片左右基板,取頭尾各一片做檢測,檢驗完也就破壞報廢了,導致每一個長晶爐每長出一顆晶錠都有約10%損耗,但同時也不能保證其他基板的品質,但南方科技的技術能做到一定深度掃描,許多關鍵缺陷都能抓出。

代理起家 回顧一路上面臨的挑戰

蔚華代理起家,發展跌跌撞撞,一路面對的挑戰不少,2019年占7成營收的大客戶Xcerra合約終止,後來雖大力拓展新代理品牌客戶補產品線,但又因中美貿易戰起,蔚華業務最大的中國大陸市場遭貿易限制,高階機台銷售受阻,中低階則面臨本土業者低價競爭,轉投資金沙食品生意又退出。

「疫情將機台交期拉得很長,其次今年本來有幾張很大的訂單,大概2~3億元以上的,客戶下單了,但原廠限制不出貨,做代理就是得仰人鼻息。」秦家騏一語道出代理業的宿命。

「未來期望自製為主,代理為輔。」秦家騏透露,未來蔚華還會進行策略性投資併購,也計畫提高南方科技持股至100%,而CIS檢測設備則是利用FPGA卡進行CMOS晶片檢測運算,可大幅縮短檢測時間,目前已有中國大陸客戶在手,正跟日本原廠洽談高相素晶片檢測技術驗證。

今年蔚華也投資奈米探針業者埃爾思,並增持南方科技100%股權,由於手握10幾億元現金,蔚華透露未來併購投資行動仍將不會停止。


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