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陸製自製DUV首度進自家產線測試 華為扮演統籌者角色

本文共802字

經濟日報 編譯劉忠勇/綜合外電

英國金融時報報導,華為扮演中國國產深紫外光(DUV)曝光機發展的統籌者,從曝光機、鏡頭到光源全面布局,並協助國產設備打進中芯國際(SMIC)等晶圓廠。上海業者宇量昇共同開發的頭一台中國自製先進DUV曝光機,更已在中芯和華為自家生產線測試,最終目標是用來生產先進AI晶片。

知情人士透露,宇量昇是從和華為關係密切的新凱來分拆而成立的,目前正和上海微電子裝備(SMEE)開發多款DUV原型機。中芯已測試宇量昇的28奈米設備,並利用多重曝光技術生產7奈米晶片。不過,大陸國產設備要達到荷蘭艾司摩爾(ASML)同級機台的生產效率,可能仍需數年驗證和調校。

伯恩斯坦半導體分析師林清遠指出,華為正在中國DUV發展中扮演「專案管理」角色。光有原型機還不夠,必須整合數千家供應商和客戶共同改良設備,而華為正成為居中協調這套體系的力量。

華為的布局已深入大陸曝光機最難突破的兩大環節──投影鏡頭和高功率光源。旗下哈勃投資和華為支持的深圳遠致星火,都投資超精密光學業者福建至期光子,這家福晶科技旗下的公司正開發可望取代德國蔡司(Zeiss)的曝光機鏡頭。哈勃也投資北京科益虹源,這家公司也正和上海微電子合作開發28奈米DUV曝光機光源,力拚取代日本極光先進雷射(Gigaphoton)和ASML旗下Cymer的產品。

不過,陸製DUV距離真正取代ASML仍有一段路。宇量昇目前使用的投影鏡頭據稱仍來自蔡司,業界人士認為可能透過大陸二手市場取得;中芯雖已採購並測試國產DUV,量產仍主要仰賴ASML設備。

據報導,長鑫存儲(CXMT)和長江存儲(YMTC)甚至已囤積足以支應未來三年擴產的ASML DUV設備,顯示中國目前仍採取雙軌策略:一面靠ASML設備維持量產,一面加速驗證國產機台。

林清遠認為,美國出口管制反而可能迫使大陸晶圓廠更積極和本土設備商合作。若國產設備因此獲得更多實際產線驗證,大陸曝光機技術的進展可能比外界預期更快。

大陸晶片業者仍仰賴艾司摩爾(ASML)的半導體設備。路透
大陸晶片業者仍仰賴艾司摩爾(ASML)的半導體設備。路透

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