應材淡濱尼園區投產 無塵室導入機器人、AR與視覺檢測

半導體設備大廠應用材料（Applied Materials）10日在新加坡淡濱尼（Tampines）舉行製造與創新園區開幕典禮，宣布園區正式投產。該園區耗資約158億元，將擴大應材在新加坡的製造量能，並導入機器人、擴增實境（AR）、數位工具與視覺檢測平台，打造半導體設備智慧製造基地。

從現場無塵室導覽來看，淡濱尼園區的智慧製造流程涵蓋物料配送、設備組裝、測試與出貨前檢查四大環節。首先，在物料配送方面，園區導入自主移動機器人（AMR），可將零件或棧板從物流區送至工作站，並採取拉動式配送系統（pull-based delivery system），也就是現場有需求才配送，藉此減少人工搬運與物料等待，也讓無塵室空間更多用於設備組裝，而非物料堆放。

在設備組裝環節，技術員可透過擴增實境眼鏡（AR lens）取得即時作業指引，畫面會直接提示氣體管線安裝位置、螺絲鎖固位置等步驟，減少技術員在電腦工作指令與實際設備間來回切換。現場也導入數位扭力工具（digital torque tool），確保螺絲鎖固至正確扭力，並將相關數據自動記錄至系統，讓品質控管從製造過程中即時建立，而非只在最後檢查。

在測試流程方面，應材導入協作型機器人手臂（collaborative robot arm）進行腔體（chamber）洩漏檢測。機器人可沿著腔體接縫釋放氣體，再由洩漏檢測器（leak checker）偵測是否有洩漏。相較過去由技術員手動檢測，機器人可讓氣體釋放速度、檢測路徑與作業流程更加一致，降低人為差異，提升測試穩定度與可重複性。

最後在出貨前視覺檢查階段，應材導入Vision X平台，搭配擴增導引檢查（augmented guidance for inspection），協助技術員檢查水管連接是否正確、設備標籤位置與語言是否符合規範。系統可透過影像判讀，以綠色標示正確、紅色提示異常，讓不同設備採用更標準化的檢查方式。

應用材料總裁暨執行長Gary Dickerson也表示，隨著AI需求快速成長，應材已提前投資讓營運產能約倍增，目的就是不希望在客戶擴產時成為限制因素。他指出，新加坡與美國德州奧斯汀（Austin, Texas）是應材兩大主要製造中心，客戶如今提供8季滾動預測（eight-quarter rolling forecast），這對應材與供應鏈規劃相當重要；只要具備足夠能見度，應材有信心支援客戶未來擴產需求。