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艾司摩爾（ASML）最先進晶片製造設備的首批機件傳年底就會運抵台積電（2330）。英特爾幾個月前已先收到這台高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影設備。
日媒引述消息人士報導，台積電將把High NA EUV安裝在新竹總部附近的研發中心，因為進行大量生產前，該設備尚需進行大量的研究和工程準備。這是全球最昂貴的晶片製造設備，每台要價約3.5億美元，相當於三架F-35戰機的價格。
台積電可能在推出埃米級A10製程後才考慮使用該設備進行商業生產，可能是2030年後。
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